mems器件研究室設備決標公示[招標編號:2007016] 　　mems器件研究室設備設備采購項目,按照我校招投標管理辦法等有關規定，經校招標工作會議綜合評議，同意以下公司為該項目中標候選人。公示期間，歡迎大家舉報。 第一、二項：高密度等離子體刻蝕機（ICP）和等離子增強化學氣相淀積設備（PECVD）由中國科學院微電子研究所中標。 第三項劃片機由沈陽儀表科學研究院中標。 公示時間：2007年10月11日——10月15日 舉報電話：86836042、86836044、86875640