1、招標設計范圍
中國計量學院單人手套箱、磁力顯微鏡、臺階儀、管式真空晶化爐設備招標。
2、對投標人的要求
2.1、具有中華人民共和國工商行政管理機關頒發的有效企業營業執照。
2.2、具有中華人民共和國承擔本項目能力與經驗的相關證明。
2.3、注冊資金不小于50萬人民幣。
以上是對投標人最基本的要求。
3、投標費用
第一標段收取招標文件工本費200元，第二標段收取工本費300元。無論投標人是否中標，工本費概不退還。
投標人應承擔所有與編寫和提交投標書有關方面的費用，不論投標的結果如何，招標方在任何情況下均無義務承擔這些費用。
4、投標報名
請于2006年10月11日前通過傳真(傳真電話:0571-86836053)的方式預先報名,招標工本費在投標當天開標前收取,投標資格以交納招標費后為準。
5、招標書的發放
招標書可以直接在網上下載。
6、招標日程安排
6.1、發招標書 2006年9月30日——2006年10月11日，直接從附件中下載。
6.2、編標答疑 答疑人：韓建強（86835771）、沈杭燕（13456972600）、
衛國英（13757123497）郭花（0571-86836053）
地址：中國計量學院明德北樓308
6.3、投標時間：2006年10月12日上午9：00前
6.4、投標地點：中國計量學院明德北樓308室
6.5、詢標：韓建強（86835771）、沈杭燕（13456972600）、
衛國英（13757123497）郭花（0571-86836053）
6.6、開標：2006年10月12日上午9：00開始（中國計量學院明德北樓311室）
6.7、簽約（中國計量學院設備管理處）
招標工作如有變更，招標單位負責通知。
設備需求清單
第一標段：
一、單人手套箱性能指標
數量：1臺
? 觸摸屏幕：易于進入各功能 ? 循環：密閉氣體循環，無油、氣密
? 氣壓控制：自動控制，工作氣壓可設定在范圍+/-10mbar
? 箱體清洗：自動控制，易于操作，節約氣體，對操作溶劑安全
? 腳踏開關：箱內氣壓可通過腳踏開關調整 ? 數據備忘錄：自動記錄系統數據
? 封閉箱體：304不銹鋼板，厚度3mm ? 循環管道：304不銹鋼板，DN40
? 手套口： 陽極氧化鋁 ? 照明：視窗前上方裝有熒光燈
? 大過渡艙：304不銹鋼類型，厚度3mm，直徑360mm, 長度600mm
? 小過渡艙：304不銹鋼板，厚度3mm，直徑100mm, 長度300mm
? 凈化系統：304不銹鋼，可再生的凈化材料，自動的再生程序
? 壓力控制：PLC自動控制，工作壓力可設定在+/-12mbar
? 吸附裝置：304不銹鋼板，可更新填充凈化材料
? 循環：無油及真空 ? 再生：自動再生程序
? 工作氣體：氮氣、氬氣、氦氣
? 再生氣體：氫氣與惰性氣體的混合氣體，氫氣約占5-10％
? 電源要求：單項，220伏/50赫茲，國際標準電源
二、臺階儀
數量：1臺
用途：測試MEMS器件臺階高度。
樣品尺寸：?100mm
Z軸測量精度：優于1nm
Z軸量程：?1mm
三、管式真空晶化爐
數量：1臺
溫度區間：900℃——1200℃，真空度：8*10-3Pa；爐溫均勻性≤8℃
第二標段：
四、磁力顯微鏡
數量：1臺
測試模式及功能磁力顯微鏡測量模式 (MFM)；接觸模式 (Contact mode)；輕敲模式 (Tapping Mode)；抬起模式 / 負抬起模式 (Lift Mode)；定量相位成像模式 (Quantitative Phase Mode)；
系統主要配置及指標
1)主機控制器
在 (x,y,z) 每個方向各有3個16 Bits DAC (數模轉換器，共9個), 分別對基本波形、掃描范圍及掃描偏移進行控制，以保證控制精度 ；定量相位成像模塊，采用鎖相技術，保證相位線性度達到完整的±180° （磁力顯微鏡必備配件）；相位成像具有自動調零的功能，從而避免相位對比超出范圍，造成無法成像；在所有模式的探針逼近樣品的過程中，具有自動逼近功能，以保證成像的真實性；下針后，具有在樣品表面重新調整共振頻率的功能，以準確檢測到探針在輕敲成像時的真實頻率；在輕敲模式中，系統能自動調節閾值；高速數字信號處理器(DSP)，3MB RAM，20MHz峰值速率；雙彩色17"顯示器
2)高分辯率測試系統
系統噪音： <0 .03nm，可持續穩定得到原子級分辨率（以云母為標樣，測得原子圖像（原始數據））；掃描范圍10μm x 10μm x 2.5μm (xyz)；10倍物鏡（工作距離：49.5 mm；數值孔徑：0.2；分辨率：1.6 μm）在14"的彩色監視器上可放大450倍，垂直方向移動范圍超過400 mm；spm專用防震系統。 3）磁力顯微鏡掃描系統 系統噪音： <0.05nm，掃描范圍90μm x90μm x 5μm (xyz) 285 ~ 1285倍放大，150-675μm 視場范圍，自動聚焦及縮放，1.5μm分辨率，計算機控制照明，彩色ccd攝像頭spm專用隔音，防震，電磁屏蔽系統
附件下載: 標書
